等离子刻蚀机在晶圆及PCB线路板制造业中

一、等离子刻蚀机的应用（1）在晶圆制造行业的应用在芯片制造行业，四氟化碳气体用于硅片的线刻蚀，等离子刻蚀机使用四氟化碳进行氮化硅刻蚀和光刻胶。利用纯四氟化碳气体或四氟化碳与氧气结合，等离子刻蚀机可在晶圆上形成微米级氮化硅刻蚀，四氟化碳与氧气、氢气结合可去除四氟化碳。（2）在PCB制造行业的应用智能制造等离子刻蚀机的刻蚀在电路板制造行业应用很早。硬线路板和柔性线路板在生产过程中会去除孔中的胶水。传统工艺采用化学清洗法。然而，随着电路板行业的发展，电路板越来越小，孔也越来越小。化学药物清除孔洞中的胶水越来越困难。孔洞越小，咬入侵蚀越难控制，还会造成化学残留，影响后期工艺。等离子体刻蚀机的刻蚀是干燥的，没有化学残留物，等离子体具有很强的扩散性，因此产生的刻蚀气相等离子体可以有效刻蚀微米级孔洞，通过调整工艺参数可以控制咬蚀量。

二、C4F等离子刻蚀机注意事项（1）四氟化碳气体虽然无毒不燃，但浓度高时会引起窒息麻醉。因此，使用时应注意气路的密封，推荐使用防爆管道。（2）为了保证过程的稳定性，需要专门的流量控制器。（3）四氟化碳参与反应会产生氢氟酸，排放的废气为有害气体，需要处理后排放；（4）使用四氟化碳的等离子清洗机建议配备防锈干式真空泵。

PCB（印制电路板），中文又称印刷电路板，是重要的电子元器件，是电子元器件的支撑，是电子元器件电气连接的载体。因为它是用电子印刷制成的，所以被称为“印刷”电路板。三、等离子清洗机又称等离子，在PCB制造中起到以下作用：清除氧化物：PCB氧化会很严重，等离子等离子清洗机可以解决氧化物问题，消除焊接隐患。表面清洁：在电路板（FPC/PCB）装运前，用等离子体进行表面清洁。通常情况下，电路板下游客户会对产品进行进货检验，如焊线测试、拉线测试等，在表面不清洗的情况下，往往会出现一些污染导致测试无法通过。为了避免上述问题，在出货前做表面等离子清洗，在这个日益追求质量的时代已经成为一种趋势。

四、以下是具体的处理工艺及案例--PCB等离子清洗机：

1.1.产品名称：PCB线路板；2.2.客户要求：使用等离子表面处理后，PCB焊接，保证后续的导线测试和拉力测试；3.3.使用型号：金徕等离子清洗机，最大功率W（可调）；4.4.气体选择：氮气、氧气、氩气、空气。5.5。处理方法：将PCB电路板放入等离子清洗机，调整功率和进气量。6.6.案例总结：根据不同气体种类、进气量、功率，加工多批PCB板邮寄给客户。顾客测试了它们。根据测试结果，我们选择了最合适的进气类型、进气量和功率。

五、涂层纸箱粘接前等离子表面处理案例总结；

等离子体处理消除污染，蚀刻表面以提高附着力，并在电子制造过程中提供表面等离子体处理的表面活化可以通过增强流体流动、消除空隙和提高芯吸速度来增强模具附着力、成型、引线键合和底部填充。根据加工能力要求，有不体积的等离子清洗机可供选择。目前常规的等离子清洗机有：5L/30L/60L/80L/L/L，也可以根据要求选择非标等离子腔体的体积和工频。